MEMS بر روی ویفرهای ۳۰۰ میلی‎متری

شرکت تحقیقاتی فرانسوی fab Leti برای اولین بار در صنعت MEMS، شتاب سنج‎هایی بر روی ویفرهای ۳۰۰ میلی‎متری ساخت. نکته قابل توجه سازگاری پلتفرم تولیدات بر روی ویفر ۲۰۰ میلی متری با  نمونه ۳۰۰ میلی متری است. این فرصت می‎تواند هزینه تولیدات MEMS را کاهش دهد. این مسئله موضوع مهمی در زمینه کاربرد MEMS در گوشی‎های تلفن همراه است.

 

1234

MEMS بر روی ویفرهای ۳۰۰ میلی‎متری

این فناوری شرکت Leti بر اساس ردیابی به وسیله نانوریسمان‎های سیلیکونی پیزو-رزیستیو است، که ادعا می‎کند اندازه سنسورهای چند بعدی را کاهش داده است. این فناوری همچنین امکان ساختن سنسورهای ترکیبی را نیز می‎دهد. برای مثال شتاب‎سنج ۳ بعدی به همراه ژیروسکوپ ۳ بعدی به همراه مغناطیس سنج ۳ بعدی بر روی یک چیپ. این طرح به شریک صنعتی این شرکت محول شده است.

شاید این مطالب را هم دوست داشته باشید

پاسخ دهید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *