MEMS بر روی ویفرهای ۳۰۰ میلی‎متری

شرکت تحقیقاتی فرانسوی fab Leti برای اولین بار در صنعت MEMS، شتاب سنج‎هایی بر روی ویفرهای ۳۰۰ میلی‎متری ساخت. نکته قابل توجه سازگاری پلتفرم تولیدات بر روی ویفر ۲۰۰ میلی متری با  نمونه ۳۰۰...